鈮(Nb)/矽(Si)靶材/平面/旋轉

平面靶：

	鈮(Nb)	矽(Si)
	鈮(Nb)	多晶	單晶
純度	3N5 ~ 5N	> 4N	> 9N
尺寸	< 6,000mm	單片< 700mm/pcs

旋轉靶：

	鈮(Nb)		矽(Si)
	擠出+綁定	氣體保護噴塗	多晶/單晶+綁定	真空噴塗
純度	3N5 ~ 5N	> 3N5 O₂/N₂:< 5000ppm	4N/9N	> 3N5 O₂/N₂:< 1500/500ppm
尺寸	< 6,000mm	< 4,000mm	單片< 2,000mm/pcs	< 4,000mm

矽綁定旋轉靶

鈮綁定旋轉靶

旋轉靶真空噴塗設備